
In-situ surface preparation of nominally on-axis 4H-SiC substrates
Keywords: A3 فرایندهای رسوبدهی بخار شیمیایی; 81.65.CF; 81.15.GH; 81.65.âb; 82.40.âg; 68.37.Ps; 61.72.Ff; A1. Atomic force microscopy; A1. Etching; A3. Chemical vapor deposition processes;