![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Scale-up and optimization of HfO2-ZrO2 solid solution thin films for the electrostatic supercapacitors
Keywords: رسوب لایه اتمی; Energy storage; Electrostatic supercapacitor; (Hf,Zr)O2; Ferroelectricity; Atomic layer deposition;