![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Exploiting atomic layer deposition for fabricating sub-10Â nm X-ray lenses
Keywords: رسوب لایه اتمی; Nanofabrication; Line multiplication; Atomic layer deposition; Fresnel zone plate; X-ray microscopy;