![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Feasibility of using vanadium to form damascene structures with an air gap
Keywords: + 77.55 + f; 77.55.+f; 85.40.Ls; 85.40.−e; 68.65.AcLow-k material; Damascene structure; Air gap formation; Vanadium pentoxide