![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Two-Step curing method for demoulding in UV nanoimprint lithography
Keywords: لیتوگرافی نانو چاپ، طرح نگار نانو چاپی; Nanoimprint lithography; UV exposure; Demoulding force; Photo-curing