دانلود مقالات ISI درباره مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما + ترجمه فارسی

Water vapor barrier properties of Si-Zn-O/Al multilayer structures

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; SZO; Si-Zn-O; PI; polyimide; ALD; atomic layer deposition; PECVD; plasma-enhanced chemical vapor deposition; WVTR; water vapor transmission rate; XRD; X-ray diffractometry; SEM; scanning electron microscopy; AFM; atomic force microscopy; RMS; root-mea

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Coupled simulation to determine the impact of across wafer variations in oxide PECVD on electrical and reliability parameters of through-silicon vias

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Through-silicon via; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Equipment simulation; Process simulation; Finite-element modeling; Reliability modeling;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Moisture barrier evaluation of SiOx/SiNx stacks on polyimide substrates using electrical calcium test

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Silicon nitride; Silicon oxide; Water vapor transmission rate; Polyimide

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Synthesis and optical properties of BCxNy films deposited from N-triethylborazine and hydrogen mixture

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; N-triethylborazine; Boron carbonitride; Thin films; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Transparent films; Optical band gap

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Nanocrystalline TiO2 thin film prepared by low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition for photocatalytic applications

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Titanium dioxide; Anatase; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Crystallization kinetics; Low temperature;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Microporous organosilica membranes for gas separation prepared via PECVD using different O/Si ratio precursors

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Organosilica membrane; Gas separation; Pore size control;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Shape selective photoinduced electrochemical behavior of thin ZnO layers prepared by surfatron

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Zinc oxide; Surfatron; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Electrochemistry;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Chemical vapor deposition of Si/SiC nano-multilayer thin films

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Silicon; Silicon carbide; Multilayers; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Thermal chemical vapor deposition

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Multiscale modeling and operation of PECVD of thin film solar cells

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Process modeling; Process optimization; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Thin film solar cells; Thin film surface morphology; Thin film thickness

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 12 صفحه سال انتشار : 2015 سفارش ترجمه

Air-stable n-type doping of graphene from overlying Si3N4 film

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Graphene; Si3N4; Dirac point; N-type doping;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Excellent surface passivation of heavily doped p+ silicon by low-temperature plasma-deposited SiOx/SiNy dielectric stacks with optimised antireflective performance for solar cell application

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Surface passivation; Crystalline silicon; Boron doped p+ emitters; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Silicon oxide/Silicon nitride dielectric stacks;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Quantum-confined photoluminescence from size-controlled boron doped nanocrystalline-Si:H/a-SiCx:H superlattice

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Quantum dot superlattices; Quantum confinement effect; Optoelectronics; Plasma-enhanced chemical vapor deposition

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Optical and electrical characteristics of plasma enhanced chemical vapor deposition boron carbonitride thin films derived from N-trimethylborazine precursor

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; N-trimethylborazine; Boron carbonitride; Thin films; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Optical properties; Dielectric constants

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

An integrated Mach–Zehnder interferometric biosensor with a silicon oxynitride waveguide by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Integrated Mach–Zehnder interferometric biochip; Silicon oxynitride layers; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; DNA

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Variation of the nanostructural feature of nc-SiC:H thin films with post-deposition thermal annealing

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Nanocrystalline silicon carbide; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Post-deposition annealing; X-ray diffraction; Photoluminescence

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Characterization of SiCN thin films: Experimental and theoretical investigations

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Hexamethyldisilazane; Silicon carbonitride; Fourier-transform infrared spectroscopy; X-ray photoelectron spectroscopy; Nanoindentation; Photoluminescence; First-principles calculations

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Performance improvement of inverted organic solar cells by adding ultrathin Al2O3 as an electron selective layer and a plasma enhanced chemical vapor deposition of SiOx encapsulating layer

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Atomic layer deposition; Aluminum oxide; Inverted organic solar cells; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Encapsulation

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

In-situ spectroscopic ellipsometry of microcrystalline silicon deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition on flexible Fe-Ni alloy substrate for photovoltaic applications

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; In-situ ellipsometry; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Flexible iron-nickel substrates; Thin films; Crystalline silicon; Solar cells;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2014 سفارش ترجمه

Si-Zr-C-N-based hydrophobic plasma polymer membranes for small gas molecule separation

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Hydrogen; Separation membrane; Single source precursor; Silicon zirconium carbonitride; Plasma-enhanced chemical vapor deposition;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

The growth of axially modulated p–n GaN nanowires by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Gallium nitride; p–n junctions; Nanowires; Light emitting diodes; p-Type doping

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Amorphous SiCN diaphragm for transmission electron microscope with environmental-cell fabricated by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Transmission electron microscopy; Environmental-cell; Catalytic gold nanoparticles; Diaphragm; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; a-SiCN

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Annealing temperature dependence of photoluminescent characteristics of silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride films grown by PECVD

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Silicon nanocrystals; Photoluminescence; Quantum confinement effects; Silicon-rich silicon nitride; Plasma-enhanced chemical vapor deposition

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2013 سفارش ترجمه

Very low surface recombination velocity of boron doped emitter passivated with plasma-enhanced chemical-vapor-deposited AlOx layers

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Surface passivation; Boron emitter; Aluminum oxide; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Crystalline silicon;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Preparation of LaRuO3 films by microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Lanthanum ruthenate; Thin films; Microstructure; Electrical conductivity

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Gradient etching of silicon-based thin films for depth-resolved measurements: The example of Raman crystallinity

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Microcrystalline silicon; Microstructure; Depth-resolved measurements; Raman spectroscopy; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Microfluidic devices; Etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

High rate deposition of amorphous hydrogenated carbon films by hollow cathode arc PECVD

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Hollow cathode arc; Plasma diagnostics; Amorphous hydrogenated carbon; Diamond-like carbon; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Elastic recoil detection analysis;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Lipon thin films grown by plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition in a N2–H2–Ar gas mixture

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Thin films; Metal organic chemical vapor deposition; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Lipon; Glass electrolyte; Lithium-ion batteries; Electrochemical impedance spectroscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Effect of deposition temperature and thermal annealing on the dry etch rate of a-C: H films for the dry etch hard process of semiconductor devices

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Amorphous carbon; Hard mask; Annealing; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Dry etch rate;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Impact of a-Si:H hydrogen depth profiles on passivation properties in a-Si:H/c-Si heterojunctions

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Amorphous silicon; Surface passivation; Heterojunctions; Photovoltaics; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Secondary ion mass spectroscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Organosilicon/silicon oxide gas barrier structure encapsulated flexible plastic substrate by using plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Organosilicon/silicon oxide multilayered barrier structure; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Tetramethylsilane; Water vapor transmission rate;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Controlled growth of carbon nanofibers using plasma enhanced chemical vapor deposition: Effect of catalyst thickness and gas ratio

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Carbon nanofibers; Gas ratio; Nickel; Catalyst thickness; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Raman spectroscopy; Scanning election microscopy;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Highly formaldehyde-sensitive, transition-metal doped ZnO nanorods prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; ZnO nanorods; Transition metal dopants; Formaldehyde gas sensors;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Synthesis of Co(OH)2/graphene/Ni foam nano-electrodes with excellent pseudocapacitive behavior and high cycling stability for supercapacitors

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Cobalt hydroxide; Graphene nanosheet; Supercapacitor; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Electrodeposition

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Silicon-based light emitting diodes on silicon and glass substrates using a low temperature multilayered nanocrystalline structure

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Luminescence; Multilayer structure; Nano-crystalline silicon; Transparent light-emitting diodes; Plasma-enhanced chemical vapor deposition;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2012 سفارش ترجمه

Silicon nanocrystals as a photoluminescence down shifter for solar cells

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Photoluminescence; Solar cell; Silicon nanocrystal; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Photoluminescence down shifter

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Enhancement of microcrystalline n-i-p solar cell performance via use of pre-covering layers and H2 treatment

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Microcrystalline silicon; Covering layer; Diffusion barrier; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Secondary ion mass spectroscopy; Raman spectroscopy;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Duty ratio-controlled reflective property of silicon nitride films deposited at room temperature using a pulsed-PECVD at SiH4–NH3 plasma

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Silicon nitride; Pulsed; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Reflectance; Model; Room temperature

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Aging of silicon-based dielectric coatings deposited by plasma polymerization

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Thin films; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Aging; Fourier transform infrared spectroscopy; Ellipsometry; Silicon oxide

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Thermal conductivity and sound velocity measurements of plasma enhanced chemical vapor deposited a-SiC:H thin films

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Amorphous silicon carbide; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Thermal conductivity; Sound velocity; Young's modulus; Picosecond ultrasonics; Time-domain thermoreflectance

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Material properties of microcrystalline silicon for solar cell application

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Microcrystalline silicon; Amorphous silicon; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Solar cell

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Determination of photocatalytic activity in amorphous and crystalline titanium oxide films prepared using plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Hydro-oxygenated amorphous titanium oxide; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Photocatalytic activity; Porosity; Anatase phase;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Capacitance–voltage characterization of silicon oxide and silicon nitride coatings as passivation layers for crystalline silicon solar cells and investigation of their stability against x-radiation

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Capacitance–voltage; Interface traps; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Silicon oxide; Silicon nitride; Solar cells; Passivation; X-ray induced degradation

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Evolution of optical properties with deposition time of silicon nitride and diamond-like carbon films deposited by radio-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition method

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Thin films; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Optical properties; Optical devices; Silicon nitride; Diamond-like carbon; Ellipsometry

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Investigation of the properties of diamond-like carbon thin films deposited by single and dual-mode plasma enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Diamond-like carbon; Raman spectroscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Neural network modeling of inter-characteristics of silicon nitride film deposited by using a plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Neural network; Model; Silicon nitride; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Generalized regression neural network; Lifetime; Solar cell manufacturing

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Amorphous silicon carbide thin films (a-SiC:H) deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition as protective coatings for harsh environment applications

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Amorphous silicon carbide; Protective coating; Passivation; Harsh environment; High temperature; Plasma-enhanced chemical vapor deposition

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Hydrogenated amorphous carbon and carbon nitride films deposited at low pressure by plasma enhanced chemical vapor deposition

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Amorphous carbon; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Carbon nitride; Optical transmittance

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Effect of composition on mechanical behaviour of diamond-like carbon coatings modified with titanium

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Hard coatings; Diamond-like carbon; Nanoindentation; X-ray diffraction; X-ray photoelectron spectroscopy; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Composites; Titanium isopropoxide

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Plasma deposited stability enhancement coating for amorphous ketoprofen

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Amorphous drug; Recrystallization; Physical stability; Fluorocarbons

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Effects of oxygen addition on electrochromic properties in low temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition-synthesized MoOxCy thin films for flexible electrochromic devices

Keywords: مخلوط بخار شیمیایی با افزایش پلاسما; Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition; Flexible Substrate; Electrochromic Materials; Molybdenum Oxide; Cyclic Voltammetry

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه