![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Keywords: تخلیه الکترواستاتیکی; ALD; atomiclayer deposition; MLD; molecular layer deposition; PI; polyimide; ESD; electrostatic discharge; SEM; scanning electron microscope; HRTEM; high-resolution transmission electron microscope; FTIR; fourier transform infrared; XPS; X-ray photoelectr