![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Conformality of thermal and plasma enhanced atomic layer deposition on a non-woven fibrous substrate
Keywords: رسوب لایه اتمی; Conformality; Atomic layer deposition; ALD; Plasma; Textile; Fibers;