![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Density, thickness and composition measurements of TiO2SiO2 thin films by coupling X-ray reflectometry, ellipsometry and electron probe microanalysis-X
Keywords: الیپسومتری; TiO2-SiO2; Ellipsometry; XPS measurements; X-ray reflectometry; EPMA;