آشنایی با موضوع
در میکروسکوپ های الکترونی روبشی با برخورد پرتو الکترونی با اتمهای سطح نمونه و آشکارسازی الکترونهای ثانویه ناشی از یونیزاسیون اتمهای سبک در سطح نمونه و نیز الکترونهای برگشتی ناشی از برخورد الاستیک با هسته های اتمهای سنگین سطح نمونه و همچنین طیف نگاری اشعه ایکس تولید شده می توان به تصاویر و طیفهایی رسید که بیانگر اطلاعات با ارزشی از اتمهای تشکیل دهنده سطح نمونه بوده و به عنوان ابزاری کارآمد در بازه گسترده ای از پژوهشهای شناخت مواد و تصویر برداری از نمونه در ابعاد نانو متری به شمار می رود.
شرکت پرتو رایان رستاک متکی به تجربه طولانی بیست ساله کارشناسان خود آمادگی دارد تا خدمات فنی و تخصصی شامل تامین دستگاه ها و لوازم یدکی و مصرفی، نصب و راه اندازی، تعمیرات و نگهداری و کالیبراسیون دستگاههای SEM را ارائه نماید.
میکروسکوپ الکترونی روبشی یا SEM نوعی میکروسکوپ الکترونی است که قابلیت عکسبرداری از سطوح با بزرگنمایی ۱۰ تا ۵۰۰۰۰۰ برابر با قدرت تفکیکی کمتر از ۱ تا ۲۰ نانومتر (بسته به نوع نمونه) را دارد.
نخستین تلاشها در توسعهٔ میکروسکوپ الکترونی روبشی به سال ۱۹۳۵ بازمیگردد که نول و همکارانش در آلمان پژوهشهایی در زمینهٔ پدیدههای الکترونیک نوری انجام دادند. آرْدِن در سال ۱۹۳۸ با اضافه کردن پیچههای جاروبکننده به یک میکروسکوپ الکترونی عبوری توانست میکروسکوپ الکترونی عبوری-روبشی بسازد.
استفاده از میکروسکوپ SEM برای مطالعهٔ نمونههای ضخیم اولین بار توسط زوُرِکین و همکارانش در سال ۱۹۴۲ در ایالات متحده گزارش شد. قدرت تفکیک میکروسکوپهای اولیه در حدود ۵۰ نانومتر بود. میکروسکوپ الکترونی روبشی بر اساس نحوه تولید باریکه الکترونی در آن به دو نوع Field Emission و Thermoionic Emission تقسیمبندی میشود که نوع Fe-SEM دارای بزرگنمایی و حد تفکیک بسیار بالاتری بوده و تصاویری با بزرگنمایی ۷۰۰ هزار برابر را با آن میتوان به دست آورد.
ساختار و اصول کاری میکروسکوپ الکترونی روبشی
در میکروسکوپ الکترونی روبشی نیز پرتو الکترونها باعث تشکیل تصویر میشوند، بنابراین تفنگ الکترونی از اجزای اصلی این میکروسکوپ نیز میباشد. پرتو الکترونی مورد نیاز برای این میکروسکوپ بین 1 تا 30 کیلو الکترون ولت در خلاء شتاب داده میشود و به کل نقاط سطح برخورد میکند، مانند آنچه در صفحه تلویزیون روی میدهد. در اینجا نیز مانند میکروسکوپهای الکترونی عبوری، عدسیهای مختلفی مانند عدسیهای متمرکزکننده، عدسیهای شیئی و چشمی وجود دارد. عدسیهای متمرکزکننده باعث میشوند قطر پرتو تا حدود 2 تا 10 نانومتر کاهش پیدا کند. سیستم خلاء نیز در اینجا مشابه میکروسکوپ الکترونی عبوری است. اما روش تشکیل تصویر و نحوه بزرگنمایی کاملا متفاوت است. شکل 1 ساختار کلی میکروسکوپ الکترونی روبشی را نشان میدهد که مجهز به آشکارسازهای الکترون ثانویه و برگشتی هستند.
محدودیتها
1-کیفیت تصویر سطوح تخت، نظیر نمونههایی که پولیش و حکاکی متالوگرافی شدهاند، معمولاً در بزرگنمایی کمتر از 300 تا 400، برابر به خوبی میکروسکوپ نوری نیست.
2-قدرت تفکیک حکاکی بسیار بهتر از میکروسکوپ نوری است، ولی پایینتر از میکروسکوپ الکترونی عبوری و میکروسکوپ عبوری روبشی است.
در این صفحه تعداد 764 مقاله تخصصی درباره میکروسکوپ های الکترونی روبشی که در نشریه های معتبر علمی و پایگاه ساینس دایرکت (Science Direct) منتشر شده، نمایش داده شده است. برخی از این مقالات، پیش تر به زبان فارسی ترجمه شده اند که با مراجعه به هر یک از آنها، می توانید متن کامل مقاله انگلیسی همراه با ترجمه فارسی آن را دریافت فرمایید.
در صورتی که مقاله مورد نظر شما هنوز به فارسی ترجمه نشده باشد، مترجمان با تجربه ما آمادگی دارند آن را در اسرع وقت برای شما ترجمه نمایند.
در صورتی که مقاله مورد نظر شما هنوز به فارسی ترجمه نشده باشد، مترجمان با تجربه ما آمادگی دارند آن را در اسرع وقت برای شما ترجمه نمایند.